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上海微电子推出新光刻机 用于封装年内交付

旺财2022-10-3062

作为被卡脖子的技术,国产光刻机一直以来都非常受市场的关注,这两天有消息称,上海微电子推出了新一代的光刻机,这篇文章就跟大家聊聊。

上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内,邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化(东部)基地等多个国家级基地。公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。

公司拥有一支500多人的多学科、高技术的人才队伍和完善的产品开发手段和设备,以及支撑微电子装备研发的光学、机械、电气控制、微环境等多学科软硬件测控技术平台,可进行集成电路关键设备—光刻机的设计、制造集成、测试和工艺试验,技术涉及光学、结构、动力学、精密运动和控制、软件工程、精密测量、微环境控制等众多领域。

据介绍,上海微电子此次推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点。

上海微电子称,该封装光刻机可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用,满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求,同时将助力封装测试厂商提升工艺水平、开拓新的工艺,在封装测试领域共同为中国集成电路产业的发展做出更多的贡献。

在我国国内主攻光刻机的企业就是上海微电子,上海微电子主要致力于光刻机的研发。让我们在光刻机领域重新看到希望,虽然相比国外的光刻机我们还是落后的,但是这一利好消息也大大说明了在光刻机方面上海微电子已经取得了突破性的进展。这为我们日后的自研芯片提供了保障。

综合以上信息,上海微电子推出光刻机是非常值得大家关注的一件事,虽然这是封装用的,但是说明我们在这个领域又有了新的突破,希望这篇文章能给大家带来帮助!

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